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產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4″石英管和真空法蘭，是專(zhuān)為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片（Z大3″）的退火而設(shè)計(jì)。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱，Z快升溫速度為 50℃/s，設(shè)有30 段溫度控制，精度為±1℃。此外，通過(guò)RS485口和控制軟件可在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制和溫度曲線顯示。
4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV 是一款精巧型快速熱處理管式爐，配有4″石英管及高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵+分子泵）， 是專(zhuān)為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片（Z大3″）的退火而設(shè)計(jì)。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱，Z快升溫速度為50℃/s，設(shè)有30 段溫度控制，精度為±1℃。此外，通過(guò)RS485口和控制軟件可在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制和溫度曲線顯示。
可滑動(dòng)RTP爐OTF-1200X-4-RTP-SL是一種快速熱處理爐，采用紅外燈加熱和移動(dòng)爐體快速冷卻，可獲得Z高升溫速率為100°C/s 、降溫速率為5°C/s。
雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統(tǒng)，是專(zhuān)為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì)的，特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機(jī)可通過(guò)滑動(dòng)爐體，實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。
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